Синтетичен кварцов пясък от 7N клас е влязъл в масово производство!

Дълго време веригата за полупроводникови индустрии в моята страна много разчита на вноса за кварцов пясък с висока чист от 7N, използван в модерни процеси за производство на полупроводници. Това е ключово затруднение в индустриалната верига. Тъй като CHIP технологията продължава да се развива, напредналите процеси поставят изключително строги изисквания към чистотата, равномерността и стабилността на кварцовия субстрат.

Наскоро китайска кварцово фабрика постигна значителен технологичен скок от пречистване на естествената кварцова руда до химическия синтез на висока чист. Те са създали цялостна технологична верига, обхващаща технологията на прекурсора, процесите на химически синтез, развитието на основното оборудване и проверката на приложението. Те успешно са разработили и масово произвеждани 7N-клас (99.99999%) синтетичен кварцов пясък с общо специфично съдържание на примеси под 20 ppb, с напълно независими права на интелектуална собственост. Този синтетичен пясък се използва при производството на полупроводникови кварцови тигели, фотолитография и ецващи процеси, сред други ключови процеси.

Този успех не е случайно. Компанията непрекъснато натрупва опит в синтеза на кварц с висока чистота, разработи различни напреднали технологии за контрол на процесите и приоритизирана подробна оптимизация, като контрол на чистотата на суровината, отстраняване на остатъчен материал, контрол на размера на частиците, дисперсионна технология и допинг процеси. Тези технологии са трансформирани в конкурентни патенти.

Процес за синтезиране на кварцов пясък с висока чистота от силиконов тетрахлорид чрез течна фаза хидролиза

Това изобретение разкрива процес за синтезиране на кварцов пясък с висока чистота от силиконов тетрахлорид чрез хидролиза на течна фаза. Процесът включва течна фаза хидролиза на силициев тетрахлорид с вода. Продуктът претърпява измиване, раздяла с твърдо течност, сушене, калциниране, смилане и скрининг, за да се получи кварцов прах с висока чистота. По време на разделянето на твърда течност е включена стъпка на отопление, между промиване и разделяне на твърда течност или по време на измиване за насърчаване на разлагането на ортозилична киселина в метазилицична киселина, улесняване на преноса и почистване и намаляване на отпадъците от суровини. Температурата на сушене е 100-200 градуса, а температурата на калциниране е 1300-1500 градуса. Дизайнът на пещта на калцинацията е оптимизиран, за да се осигури равномерно отопление и да се предотврати агломерацията на прах.

Процес за приготвяне на ултра-висок аморфен силициев кварцов пясък

Това изобретение разкрива процес за приготвяне на аморфен аморфен силициев силициев синтезиран силицид. Процесът включва реакцията на високотемпературна и високо налягане на аморфния силициев диоксид, минерализатор и ултрапластова вода, последвано от разделяне на твърда течност по време на изпускане. След това продуктът се смила, измита с киселина, почиства и се изсушава, за да се получи продуктът. Този процес използва налягането на реактора за постигане на отделяне на твърда течност по време на разтоварване, спестяване на разходи. Той също така използва аморфен силициев диоксид, като се гордее с висока и контролируема чистота, облекчава недостига на висококачествена кварцова руда в моята страна. Полученият кварцов пясък има ниско съдържание на алуминий и ниско общо количество девет примеси.

Процес на полупроводникови синтетични кварцови кварцови процеси на подготовка

Този процес на полупроводникови синтетичен кварц процес включва четири етапа: подготовка на материали, премахване на примеси, обмен на йони и пречистване на стареенето. Подготовката на материала включва добавяне на алкален метален силикат към оборудването и разтваряне и разреждане на чиста вода със средна температура. Отстраняването на примесите включва добавяне на премахване на примеси, разбъркване, което позволява да се утаи сместа, и филтриране за разделяне на хеви метални хидроксиди и разтвора да се обменя. Йонният обмен включва преминаване на разтвора, който трябва да се обменя през колона за катионно обмен на силна киселина, за да се отстранят калциевите и натриевите йони, което води до SOL. Пречистването на стареенето включва позволяване на SOL да стои да произвежда първоначален гел, който след това се подлага на стареене, измиване, сушене, пулверизация, синтероване и пречистване на ултра високо чистота, за да се получи продуктът. Този процес използва интегрирано оборудване за подобряване на автоматизацията и ефективността.