Кварцов вафлен субстрат
Субстратите за кварцови вафли са пластини, направени основно от кварц с висока{0}}чистота (SiO₂), широко използвани в полупроводници, оптоелектроника, микро-електромеханични системи (MEMS), оптични устройства и други области.
Описание
Свойства на материала
- Висока чистота:Обикновено се прави от синтетичен кварц (напр. стопен силициев диоксид), с изключително висока чистота (по-голяма или равна на 99,99%) и минимални примеси, за да се избегне повлияване на работата на устройството.
- Термична стабилност:Нисък коефициент на топлинно разширение (≈0,55×10⁻⁶/градус) и висока -температурна устойчивост (точка на омекване ~1600 градуса), подходящ за високо-температурни процеси.
- Оптична производителност:Широк обхват на предаване (UV към IR), с изключителна UV пропускливост, идеален за фотомаски, лещи и др.
- Химическа инертност:Устойчив на киселини и основи (с изключение на флуороводородна киселина), подходящ за процеси на мокро ецване.
- Електрическа изолация:High resistivity (>10¹⁶ Ω·cm), идеален за изолиращи субстрати или високо-честотни устройства.
Приложения
Производство на полупроводници
- Субстрати за Photomask
- EUV литографски компоненти
- Носители за обработка на вафли
Фотоника и оптоелектроника
- Оптични вълноводни субстрати
- Лазерен диоден монтаж
- Квантови изчислителни компоненти
Специални приложения
- MEMS резонаторни основи
- Оптика на космическия телескоп
- Високо{1}}енергийни лазерни системи
Производствен процес
- Синтез на суровини:Произвежда се чрез отлагане на пари (напр. SiCl₄ окисление) или пречистване на естествен кварц.
- Топене и формоване:Високо{0}}температурно топене, последвано от охлаждане в слитъци или директно изтегляне в пръти.
- Рязане:Нарязани на тънки вафли с помощта на триони с диамантена тел или лазерно рязане.
- Шлайфане и полиране:Химико-механичното полиране (CMP) постига гладкост на ниво-нанометър.
- Почистване и проверка:Отстраняване на частици и метални замърсители, последвано от тестване на дефекти и параметри.
Свойства
|
Физически свойства |
Ценности |
|
Чистота |
＞99.99% |
|
Плътност |
2,2 g/cm3 |
|
Прозрачност |
＞90% |
|
Твърдост по Моос |
5.5--6.5 |
|
Точка на деформация |
1280 градуса |
|
Точка на омекване |
1750 градуса |
|
Точка на отгряване |
1250 градуса |
|
Специфична топлина (20 - 350 градуса) |
670J/kg. степен |
|
Топлопроводимост (20 градуса) |
1,4 W/m. степен |
|
Топлопроводимост (w/mk, 1000 градуса) |
1.0-1.2 |
|
Индекс на пречупване |
1.4585 |
|
Коефициент на топлинно разширение |
5.510 -7см/см. степен |
|
Гореща - работна температура |
1750--2050 градуса |
|
Краткотрайна - работна температура |
1450 градуса |
|
Дългосрочна - работна температура |
1100 градуса |
|
Химични свойства |
Ценности |
|
Киселинно устойчив |
Силна киселина (с изключение на HF), силна основа, органичен разтвор |
|
Високи температури Устойчив на корозия |
Отлично |
|
Съдържание на метални примеси |
<5 ppm |
|
Електрически свойства |
Ценности |
|
Съпротивление |
7107Ω.cm |
|
Изолационна якост |
250~400Kv/cm |
|
Диелектрична константа |
3.7~3.9 |
|
Коефициент на диелектрична абсорбция |
＜410-4 |
|
Коефициент на диелектрични загуби |
＜110-4 |
|
Механични свойства |
Ценности |
|
Якост на натиск |
1100MPa |
|
Якост на огъване |
67MPa |
|
Якост на опън |
48MPa |
|
Коефициент на Поасон |
0.14~0.17 |
|
Модул на Йънг |
72000MPa |
|
Модул на срязване |
31000MPa |
ЧЗВ
Q1: Какъв е максималният наличен размер на кварцовите пластини?
A: Стандартно производство до 300 mm диаметър, с 450 mm прототипи, налични за R&D.
В2: Можете ли да предоставите профили с персонализирана дебелина?
О: Да - можем да произведем:
- Заклинени пластини (за лазерни приложения)
- Прецизни заострени дизайни
- Месо-структурирани повърхности
Q3: Какъв протокол за почистване препоръчвате?
A: Стандартен RCA чист процес:
1. Органично отстраняване (H₂SO₄:H₂O₂)
2. Йонно почистване (HCl:H₂O₂)
3. HF-последен за хидрофилна повърхност
Популярни тагове: кварцов субстрат за вафли, Китай кварцови субстрати за вафли производители, доставчици, фабрика
Изпрати запитване
Може да харесаш също
